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SEM掃描電鏡的測試圖怎么看?

日期:2024-07-12 09:28:39 瀏覽次數(shù):41

SEM掃描電子顯微鏡)掃描電鏡的測試圖主要包括二次電子像(SEI)和背散射電子像(BEI),這兩種圖像各有其特點和觀察重點。以下是如何查看SEM掃描電鏡測試圖的方法:

一、圖像基礎認知

圖像類型:SEM測試圖主要為灰度圖像,通過不同灰度級別來展示樣品表面的微觀形貌或元素分布。

放大倍數(shù):SEM圖像的放大倍數(shù)可以根據(jù)需要調整,從低倍到高倍,以便觀察不同尺度的細節(jié)。

臺式掃描電鏡ZEM15.jpg

二、二次電子像(SEI)觀察

形貌特征:

二次電子像主要反映樣品表面的微觀形貌,其成像效果與自然光下觀察到的形貌基本一致。

亮的區(qū)域表示樣品表面凸起或高于平均平面,暗的區(qū)域則表示凹陷或低于平均平面。

觀察要點:

注意觀察樣品表面的粗糙度、紋理、孔洞、裂紋等形貌特征。

通過對比不同區(qū)域的亮度差異,可以分析樣品表面的起伏和形態(tài)特征。

三、背散射電子像(BEI)觀察

元素分布:

背散射電子像主要反映樣品表面的元素分布情況。由于背散射電子的產額與樣品的原子序數(shù)成正比,因此亮的區(qū)域表示原子序數(shù)較高的元素,暗的區(qū)域則表示原子序數(shù)較低的元素。

觀察要點:

注意觀察樣品表面不同元素的分布情況,特別是那些對性能有重要影響的元素。

通過分析亮暗區(qū)域的對比度和分布情況,可以推斷出樣品表面的元素組成和分布狀態(tài)。

四、綜合分析與判斷

結合形貌與元素:

在實際分析中,通常需要同時觀察二次電子像和背散射電子像,以便更全面地了解樣品的微觀結構和元素分布。

通過對比兩種圖像的信息,可以進一步揭示樣品表面的形貌特征與元素分布之間的關系。

考慮其他因素:

在分析SEM測試圖時,還需要考慮樣品的制備過程、測試條件以及可能的誤差來源等因素。

特別是要注意樣品表面可能存在的污染、損傷或處理不當?shù)葐栴},這些因素都可能對測試結果產生影響。

五、示例分析

(由于直接提供具體圖像存在困難,以下通過文字描述示例分析過程)

假設有一張SEM測試圖同時包含二次電子像和背散射電子像:

在二次電子像中,可以觀察到樣品表面存在明顯的凹凸不平現(xiàn)象,以及一些微小的孔洞和裂紋。

在背散射電子像中,則可以發(fā)現(xiàn)樣品表面某些區(qū)域明顯較亮,而其他區(qū)域則相對較暗。這些亮暗區(qū)域的分布與樣品中的元素分布密切相關。

通過綜合分析兩種圖像的信息,可以推斷出樣品表面的微觀形貌特征以及元素分布情況,并據(jù)此對樣品的性能進行評估和預測。

總之,在查看SEM掃描電鏡測試圖時,需要仔細觀察圖像中的形貌特征和元素分布情況,并結合其他相關信息進行綜合分析和判斷。