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SEM掃描電鏡無圖像故障的分析及處理方法介紹

日期:2024-04-30 11:14:03 瀏覽次數(shù):50

SEM掃描電子顯微鏡)無圖像故障可能由多種原因造成,以下是一些可能的原因及相應(yīng)的處理方法:

電子束問題:

原因:電子束太弱或沒有電子束產(chǎn)生。

處理方法:

檢查電子槍是否工作正常,確認(rèn)燈絲是否完好。

檢查電子束加速電壓是否穩(wěn)定且設(shè)置正確。

清理電子槍及其周圍的污染物,確保電子束傳輸通暢。

掃描電鏡.jpg

閃爍體問題:

原因:閃爍體在長時間高束流的照射下性能降低或受到機(jī)械損傷。

處理方法:

更換閃爍體。

檢查閃爍體的安裝位置和固定方式,確保無機(jī)械損傷。

電壓問題:

原因:提供給捕集極的電壓(PMR)沒有或降低,或光電倍增管失效、提供給它的電壓(PMO)沒有或降低。

處理方法:

檢查電源供應(yīng)是否正常,確認(rèn)相關(guān)電壓值是否穩(wěn)定且設(shè)置正確。

檢查線路連接,確保無斷路或短路。

如有必要,更換光電倍增管。

視頻信號處理問題:

原因:前置放大器發(fā)生故障或增益太小,視頻放大和處理系統(tǒng)發(fā)生故障或增益太小。

處理方法:

檢查前置放大器和視頻放大及處理系統(tǒng)的電路連接,確保無斷路或短路。

檢查放大器的增益設(shè)置,根據(jù)需要調(diào)整。

如有必要,更換損壞的部件。

顯示問題:

原因:視頻信號沒有加到顯示器(CRT)的陰極上。

處理方法:

檢查視頻信號線是否連接正確,無斷路或短路。

檢查顯示器(CRT)是否工作正常,確認(rèn)陰極是否完好。

機(jī)械問題:

原因:樣品室或鏡筒內(nèi)存在污染或機(jī)械故障。

處理方法:

清理樣品室和鏡筒內(nèi)的污染物。

檢查機(jī)械部件是否完好,如有損壞及時更換。

其他問題:

原因:可能是真空度不足、掃描線圈故障、電路板故障等。

處理方法:

檢查真空系統(tǒng),確保真空度達(dá)到要求。

檢查掃描線圈和電路板,確認(rèn)無故障。

如有必要,聯(lián)系廠家或?qū)I(yè)維修人員進(jìn)行維修。

在處理SEM無圖像故障時,需要根據(jù)具體情況逐一排查可能的原因,并采取相應(yīng)的處理方法。同時,為了確保SEM的穩(wěn)定運(yùn)行和延長使用壽命,建議定期進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。

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