SEM（掃描電子顯微鏡）無圖像故障可能由多種原因造成，以下是一些可能的原因及相應(yīng)的處理方法：

電子束問題：

原因：電子束太弱或沒有電子束產(chǎn)生。

處理方法：

檢查電子槍是否工作正常，確認(rèn)燈絲是否完好。

檢查電子束加速電壓是否穩(wěn)定且設(shè)置正確。

清理電子槍及其周圍的污染物，確保電子束傳輸通暢。

閃爍體問題：

原因：閃爍體在長(zhǎng)時(shí)間高束流的照射下性能降低或受到機(jī)械損傷。

處理方法：

更換閃爍體。

檢查閃爍體的安裝位置和固定方式，確保無機(jī)械損傷。

電壓?jiǎn)栴}：

原因：提供給捕集極的電壓（PMR）沒有或降低，或光電倍增管失效、提供給它的電壓（PMO）沒有或降低。

處理方法：

檢查電源供應(yīng)是否正常，確認(rèn)相關(guān)電壓值是否穩(wěn)定且設(shè)置正確。

檢查線路連接，確保無斷路或短路。

如有必要，更換光電倍增管。

視頻信號(hào)處理問題：

原因：前置放大器發(fā)生故障或增益太小，視頻放大和處理系統(tǒng)發(fā)生故障或增益太小。

處理方法：

檢查前置放大器和視頻放大及處理系統(tǒng)的電路連接，確保無斷路或短路。

檢查放大器的增益設(shè)置，根據(jù)需要調(diào)整。

如有必要，更換損壞的部件。

顯示問題：

原因：視頻信號(hào)沒有加到顯示器（CRT）的陰極上。

處理方法：

檢查視頻信號(hào)線是否連接正確，無斷路或短路。

檢查顯示器（CRT）是否工作正常，確認(rèn)陰極是否完好。

機(jī)械問題：

原因：樣品室或鏡筒內(nèi)存在污染或機(jī)械故障。

處理方法：

清理樣品室和鏡筒內(nèi)的污染物。

檢查機(jī)械部件是否完好，如有損壞及時(shí)更換。

其他問題：

原因：可能是真空度不足、掃描線圈故障、電路板故障等。

處理方法：

檢查真空系統(tǒng)，確保真空度達(dá)到要求。

檢查掃描線圈和電路板，確認(rèn)無故障。

如有必要，聯(lián)系廠家或?qū)I(yè)維修人員進(jìn)行維修。

在處理SEM無圖像故障時(shí)，需要根據(jù)具體情況逐一排查可能的原因，并采取相應(yīng)的處理方法。同時(shí)，為了確保SEM的穩(wěn)定運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命，建議定期進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。