SEM掃描電鏡即掃描電子顯微鏡，是一種常用的材料分析設備。根據使用電子槍種類不同，掃描電鏡可以分為鎢燈絲掃描電鏡、場發(fā)射電子槍掃描電鏡和六硼化鑭燈絲掃描電鏡。其中，鎢燈絲掃描電鏡是使用*普遍的，具有抗干擾能力強、穩(wěn)定性好的優(yōu)點，適合形貌觀察、顯微結構分析和斷口形貌分析等應用。而場發(fā)射電子槍掃描電鏡則分為冷場發(fā)射和熱場發(fā)射兩種，其中熱場發(fā)射掃描電鏡具有連續(xù)工作時間長、能與多種附件搭配實現綜合分析等優(yōu)點，應用廣泛。

此外，SEM掃描電鏡在追求高分辨率、高圖像質量發(fā)展的同時，也向復合型發(fā)展，即成為把掃描、透射及微區(qū)成分分析、電子背散射衍射等結合為一體的復合型電鏡，實現了表面形貌、微區(qū)成分和晶體結構等多信息同位分析。

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