掃描電鏡圖像的襯度是信號襯度，它可定義為：根據(jù)形成的依據(jù)，SEM掃描電鏡的襯度可分為形貌襯度，原子序數(shù)襯度和電壓襯度。

掃描電鏡形貌襯度是由于試樣表面形貌差異而形成的襯度。利用對試樣表面形貌變化敏感的物理信號如二次電子、背散射電子等作為顯象管的調(diào)制信號，可以得到形貌襯度像。其強(qiáng)度是試樣表面傾角的函數(shù)。而試樣表面微區(qū)形貌差別實(shí)際上就是各微區(qū)表面相對于入射束的傾角不同，因此電子束在試樣上掃描時(shí)任何二點(diǎn)的形貌差別，表現(xiàn)為信號強(qiáng)度的差別，從而在圖像中形成顯示形貌的襯度。二次電子像的襯度是SEM掃描電鏡Z典型的形貌襯度。

掃描電鏡原子序數(shù)襯度是由于試樣表面物質(zhì)原子序數(shù)(或化學(xué)成分)差別而形成的襯度。利用對試樣表面原子序數(shù)(或化學(xué)成分)變化敏感的物理信號作為顯像管的調(diào)制信號，可以得到原子序數(shù)襯度圖像。背散射電子像、吸收電子像的襯度，都包含有原子序數(shù)襯度，而特征X射線像的襯度是原子序數(shù)襯度。現(xiàn)以背散射電子為例，說明原子序數(shù)襯度形成原理。對于表面光滑無形貌特征的厚試樣，當(dāng)試樣由單一元素構(gòu)成時(shí)，則電子束掃描到試樣上各點(diǎn)時(shí)產(chǎn)生的信號強(qiáng)度是一致的。得到的像中不存在襯度。當(dāng)試樣由原子序數(shù)不同的元素構(gòu)成時(shí)，則在不同的元素上方產(chǎn)生不同的信號強(qiáng)度，因此也就產(chǎn)生襯度。

SEM掃描電鏡電壓襯度是由于試樣表面電位差別而形成的襯度。利用對試樣表面電位狀態(tài)敏感的信號，如二次電子，作為顯像管的調(diào)制信號，可得到電壓襯度像。