臺式掃描電鏡能譜一體機同時具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析。電鏡能譜一體機具有系列全自動操作、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點，無需防震環(huán)境，可放置在任意樓層，能譜無外接部件，無需液氮冷卻。

臺式掃描電鏡能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生X射線的分析儀器。掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

金相樣品背散射成像分析，背散射探頭成像可以顯示出材料的成分襯度，但背散射探頭屬于被動信號采集，所以背散射成像對燈絲亮度有著高的要求。只有在燈絲亮度足夠高的情況下才能獲取良好的背散射成像照片。桌面式電鏡操作簡單，維護方便。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現(xiàn)。