臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)同時(shí)具備樣品表面微觀形貌觀測(cè)和表面元素成分點(diǎn)、線、面分析。電鏡能譜一體機(jī)具有系列全自動(dòng)操作、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點(diǎn)，無(wú)需防震環(huán)境，可放置在任意樓層，能譜無(wú)外接部件，無(wú)需液氮冷卻。

臺(tái)式掃描電鏡能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生X射線的分析儀器。掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。

金相樣品背散射成像分析，背散射探頭成像可以顯示出材料的成分襯度，但背散射探頭屬于被動(dòng)信號(hào)采集，所以背散射成像對(duì)燈絲亮度有著高的要求。只有在燈絲亮度足夠高的情況下才能獲取良好的背散射成像照片。桌面式電鏡操作簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測(cè)器，使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。