掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多優(yōu)越的性能、是用途廣泛的一種儀器。它可以進行如下基本分析:

①觀察納米材料

所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶體、非晶態(tài)不同的、獨特的物理化學性質。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景，將成為未來材料研究的重點方向。sem掃描電鏡的一個重要特點就是具有很高的分辨率。現(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料。

②材料斷口的分析

掃描電鏡的另一個重要特點是景深大，圖象富立體感。sem掃描電鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大，故所得掃描電子象富有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個特點對使用者很有價值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次，高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質，在教學、科研和生產(chǎn)中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。

③觀察原始表面

它能夠直接觀察直徑100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對試樣的形狀沒有任何限制，粗糙表面也能觀察，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實觀察試樣本身物質成分不同的襯度。

④觀察厚試樣

其在觀察厚試樣時，能得到高的分辨率和真實的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在對厚塊試樣的觀察進行比較時，因為在透射電子顯微鏡中還要采用復膜方法，而復膜的分辨率通常只能達到10nm，且觀察的不是試樣本身。因此，用sem掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實的試樣表面資料。

⑤觀察區(qū)域細節(jié)

試樣在樣品室中可動的范圍非常大，其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2-3cm，故實際上只許可試樣在兩度空間內運動，但在掃描電鏡中則不同。由于工作距離大。焦深大。樣品室的空間也大。因此，可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動。且可動范圍大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域帶來很大的方便。

⑥大視場低倍數(shù)觀察

用sem掃描電鏡觀察試樣的視場大。在掃描電鏡中，能同時觀察試樣的視場范圍F由下式來確定:F=L/M式中 F--視場范圍;M--觀察時的放大倍數(shù);L--顯像管的熒光屏尺寸。若sem掃描電鏡采用30cm的顯像管，放大倍數(shù)15倍時，其視場范圍可達20mm，大視場、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對有些領域是很必要的，如刑事偵察和考古。

⑦由高至低連續(xù)觀察

放大倍數(shù)的可變范圍很寬，且不用經(jīng)常對焦。掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬，且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續(xù)觀察，不用重新聚焦，這對進行事故分析特別方便。

⑧觀察生物試樣

因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。同其他方式的電子顯微鏡比較，因為觀察時所用的電子探針電流小電子探針的束斑尺寸小，電子探針的能量也比較小。而且不是固定一點照射試樣，而是以光柵狀掃描方式照射試樣。因此，由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小，這一點對觀察一些生物試樣特別重要。