掃描電鏡是用于觀測(cè)組織或材料表面形貌的重要工具。以下是SEM掃描電鏡的操作規(guī)范介紹：

一、準(zhǔn)備階段

樣品準(zhǔn)備：

確保樣品已完全干燥。

準(zhǔn)備必要的耗材，如樣品臺(tái)、導(dǎo)電膠帶、鑷子、剪刀和手套。

使用導(dǎo)電膠帶將樣品固定在樣品臺(tái)上，并確保樣品牢固粘貼。操作過(guò)程中應(yīng)佩戴手套，以防污染樣品。

噴金鍍膜：

由于生物組織等樣品不具備導(dǎo)電性，需進(jìn)行噴金鍍膜處理，以增加形貌襯度。

噴金參數(shù)應(yīng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的具體設(shè)備進(jìn)行調(diào)整，需提前與負(fù)責(zé)老師或技術(shù)人員確認(rèn)。

二、安裝樣品臺(tái)

打開(kāi)電腦和軟件：

啟動(dòng)電腦，雙擊掃描電鏡的軟件圖標(biāo)以打開(kāi)軟件。

連接SEM掃描電鏡：

根據(jù)軟件提示，點(diǎn)擊“確定”以連接掃描電鏡設(shè)備。

安裝樣品臺(tái)：

點(diǎn)擊右上角“快速換樣”，根據(jù)彈窗指示，點(diǎn)擊“確定”。此時(shí)樣品臺(tái)移動(dòng)至規(guī)定位置。

點(diǎn)擊交換倉(cāng)“抽氣”按鍵，開(kāi)始交換倉(cāng)抽真空操作，直至指示燈常亮，提示真空狀態(tài)已完成。

點(diǎn)擊交換倉(cāng)“開(kāi)/關(guān)傳輸門(mén)”按鍵，打開(kāi)交換倉(cāng)與樣品倉(cāng)之間的隔板。

打開(kāi)樣品桿鎖扣，向內(nèi)推進(jìn)樣品桿至底部，順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)樣品桿旋鈕，鎖定樣品臺(tái)并向外拉出樣品桿，鎖上鎖扣。此時(shí)，樣品臺(tái)被樣品桿從樣品倉(cāng)中取出至交換倉(cāng)。

再次點(diǎn)擊交換倉(cāng)“開(kāi)/關(guān)傳輸門(mén)”按鍵，關(guān)閉交換倉(cāng)與樣品倉(cāng)之間的隔板。

點(diǎn)擊交換倉(cāng)“放氣”按鍵，解除交換倉(cāng)真空狀態(tài)，然后打開(kāi)交換倉(cāng)，放入樣品。

關(guān)上交換倉(cāng)，依次執(zhí)行“抽氣”、“開(kāi)/關(guān)傳輸門(mén)”推進(jìn)樣品桿操作。待樣品臺(tái)進(jìn)入指定位置后，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)樣品桿旋鈕，拉出樣品桿，并關(guān)上隔板。

三、SEM掃描電鏡觀察

選擇樣品臺(tái)：

點(diǎn)擊軟件右上角“工作”按鈕，根據(jù)彈窗提示選擇已安裝的樣品臺(tái)。

開(kāi)啟束流：

點(diǎn)擊軟件右上角“打開(kāi)束流”按鈕，以開(kāi)啟電子束流。

導(dǎo)航拍照：

點(diǎn)擊軟件左下角“導(dǎo)航拍照”按鈕，導(dǎo)入樣品導(dǎo)航界面。

設(shè)置工作高度和樣品高度：

根據(jù)樣品的高度和類型，在Z軸輸入窗口輸入相應(yīng)的數(shù)值，以界定工作高度和樣品高度。

移動(dòng)樣品位置：

在樣品導(dǎo)航界面用鼠標(biāo)雙擊，以移動(dòng)樣品位置。這通常用于定位不同的樣品。

在成像界面用鼠標(biāo)雙擊，同樣可以移動(dòng)樣品位置。這通常用于觀察同一樣品的不同位置。

圖像調(diào)節(jié)：

使用鼠標(biāo)滾輪進(jìn)行圖像的放大和縮小操作。

點(diǎn)擊工具欄的相應(yīng)按鈕進(jìn)行樣品預(yù)覽、亮度和對(duì)比度的調(diào)節(jié)。

在放大倍數(shù)較小時(shí)，可以點(diǎn)擊工具欄的按鈕進(jìn)行自動(dòng)聚焦和自動(dòng)消像散。

在放大倍數(shù)較大時(shí)，采用手動(dòng)聚焦。點(diǎn)擊工具欄的“慢掃”和“選區(qū)”功能，將選區(qū)框移動(dòng)至居中位置。然后按住鼠標(biāo)右鍵左右滑動(dòng)，以確定焦點(diǎn)位置（*清晰時(shí)）。取消“選區(qū)”后，該焦點(diǎn)將應(yīng)用于整個(gè)視野。

四、注意事項(xiàng)

電源穩(wěn)定：

確保電源穩(wěn)定，避免電壓波動(dòng)過(guò)大，以保護(hù)掃描電鏡設(shè)備和樣品。

真空度要求：

在加高壓前，真空度B須達(dá)到額定值。氣體電離度大會(huì)損傷電子槍。

完成SEM掃描電鏡觀察后，應(yīng)關(guān)閉高壓，并等待至少30秒以上，待燈絲冷卻后再進(jìn)行放氣操作，以保護(hù)電子槍。

樣品臺(tái)移動(dòng)限制：

樣品臺(tái)在平面方向和上下方向都有額定移動(dòng)距離。當(dāng)移動(dòng)到極限位置時(shí)，設(shè)備會(huì)發(fā)出報(bào)警提示。此時(shí)，應(yīng)立即停止移動(dòng)并往回移。

在向上移動(dòng)樣品臺(tái)時(shí)，應(yīng)緩慢操作，以防止堅(jiān)硬樣品撞擊上方的探測(cè)器和極靴，從而損壞設(shè)備。

電子束與樣品作用：

在掃描電鏡觀察過(guò)程中，電子束與樣品會(huì)發(fā)生相互作用，激發(fā)出多種信號(hào)。這些信號(hào)包括二次電子信號(hào)（用于形貌觀察）、背散射電子信號(hào)（用于區(qū)分微區(qū)成分）等。應(yīng)根據(jù)觀察目的選擇合適的信號(hào)進(jìn)行觀察和分析。

綜上所述，SEM掃描電鏡的操作規(guī)范涉及樣品準(zhǔn)備、安裝樣品臺(tái)、掃描電鏡觀察和注意事項(xiàng)等多個(gè)方面。只有嚴(yán)格按照操作規(guī)范進(jìn)行操作，才能確保SEM掃描電鏡設(shè)備的正常運(yùn)行和觀察結(jié)果的準(zhǔn)確性。